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电子项目
电子项目-中科院苏州纳米所
编辑:国舜  发布时间:2021-03-20 浏览:2237
中科院苏州纳米技术与纳米仿生研究所张家港研究院外延平台项目:张家港纳米研究院车间一西侧1-2楼,半导体洁净厂房建设一层建筑面积约3300平米,二层建筑面积3300平米,地下室建筑面积约2996平米,其他建筑面积约889平米。其中净化等级ISO14644-1(国际标准)ISO Class5百级洁净室约200平米,ISO14644-1(国际标准)ISO Class7万级洁净室2300平米,高可靠不间断电源UPS、工艺冷却水、无油干燥压缩空气系统、工艺真空系统、半导体特气系统、大宗气体(氮气/氢气)供应系统,大宗气体纯化系统,特气泄露报警监控系统、一般/酸碱/有机排气系统、废气处理系统、废水处理系统、半导体工艺所需纯水系统以及各个设备基础工程。http://sidatec.com
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