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电子项目
电子项目-扬杰8英寸晶圆及集成电路
编辑:国舜  发布时间:2021-03-20 浏览:1063

净化等级ISO14644-1(国际标准)ISO Class5百级洁净室约4000平米,ISO14644-1(国际标准)ISO Class7万级洁净室5300平米,高可靠不间断电源UPS、工艺冷却水、无油干燥压缩空气系统、工艺真空系统、半导体特气系统、大宗气体供应系统、大宗气体纯化系统、二次配系统、特气泄露报警监控系统、一般/酸碱/有机排气系统、废气处理系统、废水处理系统、半导体工艺所需纯水系统以及各个设备基础工程。http://sidatec.com

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